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크린부스

크린부스 특징/구성도


		제품 특징

		CLEAN ROOM 내부 또는 생산라인 중 국부적으로 고청정공간이 필요한 경우에 사용하는 장비이다. 요구하는 청정도에 따라서 Chamber type, Laminar type 그리고 제약공정의 칭량실에서 사용하는 Weighing type으로 구분한다.

00_아이콘.jpg Chamber type
요구하는 청정도 기준에 따라 천장 또는 벽부에 FAN FILTER UNIT을 설치한다.
일반적으로 Frame은 알루미늄 프로파일을 사용하고, 외부는 사용자 편의에 따라 무정전비닐, 무정전아크릴, 폴리카보네이트 등으로 마감한다.

CLASS			환기회수
1,000			40~70 회/hr
10,000			20~40 회/hr
100,000			15~20 회/hr

00_아이콘.jpg Laminar type
청정도 CLASS 10 ~ 100이 요구되는 반도체 에칭공정 또는 제약공정의 주사제 충진등 고청정도 작업라인에 설치한다.
풍량기준은 면풍속 기준에 따라 결정된다.

구분		면풍속
반도체, 정밀기기 등		0.15~0.3 m/s
무균제약공정		0.45 m/s (±20%)

00_아이콘.jpg Weighing type
제약공정의 칭량실에서 사용하는 장비로 면풍속 기준 0.45 m/s (±20%) 기준으로 제작한다.
분진이 많이 발생하므로 ARM HOOD를 이용하여 국소 배기를 고려해야 한다.

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